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美国 ALICAT
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ALICAT 高压气体质量流量计 20Q系列

量程10 SCCM - 3000 SLPM,优于2%的精度,测量范围广,优于10 ms响应时间,高压应用实时多元流量测量
这款多功能20Q系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压(160-320 psia)条件下运行流量所需时间,还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。

应用及案例

 

●  大学/研究所                       ●  泄漏检测

●  环境监测                            ●  真空行业及镀膜

●  汽车制造                            ●  燃料电池

●  计量校准                            ●  过程工艺气体测量

●  工业炉窑                            ●  半 导 体

●  光      伏

产品特色

●  准确。流量测量具有NIST可溯源精度,适用于低至满量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。

●  使用简单。只要您打开气体质量流量计,气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。

 

●  连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指标升级:

质量流量普通精度          ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程(取最大值)

 

测量范围                        0.1 ~ 100%满量程

重复性                           ± 0.1%满量程

质量流量零点漂移          ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                      ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移          ± 0.01%读 数/ ℃温差

 

                                      ± 0.1 %读 数/ A
性能指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体,请参考气体兼容表

                  一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量       程    从0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM(详情请咨询)

测量范围    0.5% ~ 100%满量程

最大显示流量    128%满量程

显  示  屏    带集成触摸板的单色LCD或彩色TFT显示器

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力和温度

精       度    ± 2%满量程 精度升级部分见上段

重  复  性    ± 2%满量程

质量流量温度漂移    0.02%满量程 / ℃ / Atm

响应时间    优于10 ms

预热时间    < 1 s

标定工况    25 ℃ & 1Atm(其它标况可调)

工作温度    -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ~ 100%

最大工作压力    320 psia

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率;

                         模拟信号:1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS-232、RS-485、Modbus、EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差

供电电压    7-30 VDC (15-30 VDC用于4-20 mA输出)

供电电流    0.040 A (+ 输出电流在 4-20 mA)

电气接口    DB9,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率(外漏)    选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质    303和302不锈钢、Viton®、热固化硅橡胶、玻璃增强聚苯硫醚、热固化环氧树脂、铝、金、硅、玻璃。

如果您申请需要其它材料,请联系我们。

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA (可选)

*如选Profibus,则无模拟信号,无显示,其供电电压及供电电流需来电垂询

tm压力差
 

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