量程0.5 SCCM-6000 SLPM，优于1 %的精度，控制范围广，优于100 ms响应时间
美国ALICAT 21系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校，可达到优于100 ms的控制速度，并保持极佳稳定性，并有超低压损产品可供您选择。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 环境监测
● 真空行业及镀膜 ● 工业炉窑
● 半 导 体 ● 汽车制造
● 光 伏 ● 燃料电池
● 计量校准 ● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：优于0.5%
● 可测范围广，0.01~100%
● 响应时间快，优于100 ms
● 内置98种气体
● 可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气
量程为0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差
± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01%读数/ ℃温差
± 0.1 %读数/ Atm压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（详情请咨询）
测量和控制范围 0.01～100%
最大显示流量 128 %满量程
最大可控流量 102.4 %满量程
显 示 屏 按键操作，标准为LCD黑白显示屏（带背光），可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）见上段精度升级部分
±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%读数的额外误差
重 复 性 ± 0.2 %满量程
零点漂移&满量程漂移 0.02% 满量程/ ℃/ Atm
响应时间 100 ms（可调）
预热时间 ＜1s
标定工况 25 ℃&1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至100℃）
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
最大工作压力 1 MPaG（可选2MPaG高压选项）
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.5%读数（读数＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40Hz@19200波特率；
模拟信号：1000Hz
屏幕刷新频率 10Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差
供电电压 7-30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15-30 VDC ）
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询），额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、430FR不锈钢、硅、玻璃
过程连接 标准为NPT内螺纹，详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
全国服务热线
010-61705152