ALICAT 气体质量流量计-基本型 10系列

应用及案例
● 大学/研究所    ● 环境监测
● 真空镀膜    ● 工业炉窑
● 半导体    ● 汽车制造
● 光伏    ● 燃料电池
● 计量    ● 过程工艺气体测量
产品特色
●  低价位产品
●  标配模拟输出方式，数字可选
●  高量程比 200:1
●  响应时间快 仅需10ms

   性能指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    单种气体标定，请参考背面气体兼容表

量       程    从0-10SCCM 到 0-20SLPM（详情请咨询）

量程   比    200 : 1

最大可控流量    128%FS

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

重复   性    ± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移    0.02% FS / ?C / Atm

预热时间    <1s

响应时间    10ms

标定工况    25℃ & 100kPa 绝压

工作温度    -10 ～ +50℃

工作湿度    0-100%,无冷凝

标准最大工作压力    1MPa 表压

标准极限耐压    1.2MPa 表压

中压选项    2MPa

输出信号    标准为模拟信号：0-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可选数字信号    RS-232

供电电压    7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流    40mA

电气接口    DB15

材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃

安装方式    对位置无要求 

防护等级    IP40