ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列

数字化产品
带气动截止阀，泄漏率低
多参数显示和输出：温度、压力、流量等
多参数控制:体积流量、质量流量和压力
标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
可选高精度：可优于0.5%
 量程比 200:1
响应时间快 仅需100ms(可调)
内置98种气体
现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
性能指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表

                  一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    200:1

最大显示流量    102.4%FS

显示屏    带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程

高精度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

阀门泄漏率    不超过1x10 atm scc/sec (He)

重复性    ± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移    0.02% FS / ?C / Atm

响应时间    100ms（可调）预热时间：<1s

标定工况：25℃ & 100kPa 绝压、20℃ & 100kPa 绝压、0℃ & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～ +50 ℃

工作湿度：0-100%，无冷凝

标准最大工作压力    1MPa 表压

标准极限耐压    1.2MPa 表压

中压选项    2MPa

数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度

供电电压    7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流    250mA ～ 750mA

电气接口    8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头

材质    316L,303&302不锈钢,Viton,硅胶RTV，玻璃增强尼龙

铝 ,黄铜,430FR 不锈钢, 硅，玻璃, PCTFE

安装方式    对位置无要求 防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们