ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS型

应用及案例

● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 汽车制造
● 计量
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 带气动截止阀，泄漏率低
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度    优于0.5%
● 高量程比 100:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置128种常规以及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
性能指标

介质要求    洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类    内置了128种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM（详情请咨询）

量 程  比    100:1

最大显示流量：102.4%FS

显 示  屏    带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

                   高 精  度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配

                   仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

阀门泄漏率    不超过1x10 atm scc/sec (He)

重 复  性    ± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移    0.02% FS / ℃ / Atm

响应时间    100ms 预热时间：<1s

标定工况    25℃  & 100kPa 绝压

                  20℃  & 100kPa 绝压

                  0  ℃  & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度    -10 ～ +50 ?C

工作湿度    0-100%,无冷凝

标准最大工作压力    1MPa 表压

标准极限耐压    1.2MPa 表压

中压选项    2MPa

数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度

供电电压    7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流    250mA ～ 750mA

电气接口    8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头

材       质    316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们