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气体流量测控

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产品名称：气体流量控制器
产品型号：LOW-DP-FLOW
产品品牌：荷兰 Bronkhorst

产品综述

LOW-DP-FLOW
用于低压降或腐蚀性气体应用

针对低压差应用，Bronkhorst开发了LOW-ΔP-FLOW系列质量流量计和控制器，可通过不同的传感器和旁路结构将流阻最小化。

最小流量：0.2…10 mln/min

最大流量：20…1000 m3nh

低压差LOW-ΔP-FLOW质量流量控制器采用紧凑型设计，可一体集成控制阀。最大流量为1…50 ln/min空气，基于操作条件。针对超低压力下更大流量的控制，Bronkhorst研发了带有压力补偿波纹管的特殊控制阀(型号 F-004AC/F-004AI/F-004BI)。流量计集成电子PI控制功能，并通过管道连接此类阀门。

“Multibus”数字质量流量计/控制器

Bronkhorst 基于灵活的“多总线”概念研发数字仪表，该仪表可选配CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus 或 FLOW-BUS接口。

质量流量计

满量程/压力等级/入口防护等级

PN 10 bar – IP40	PN 10 bar – IP65
F-100D \| 0.2 … 20 mln/min	F-100DI \| 0.2 … 20 mln/min
F-101D \| 0.42 … 2.1 ln/min	F-101DI \| 0.42 … 2.1 ln/min
F-101E \| 0.028 … 12 ln/min	F-101EI \| 0.028 … 12 ln/min
F-102D \| 0.28 … 25 ln/min	F-102DI \| 0.28 … 25 ln/min
F-102E \| 0.17 … 50 ln/min	F-102EI \| 0.17 … 50 ln/min
F-103D \| 0.8 … 150 ln/min	F-103DI \| 0.8 … 150 ln/min
F-103E \| 0.9 … 200 ln/min	F-103EI \| 0.9 … 200 ln/min
	F-106Z \| 0.2 … 1000 m3n/h
	F-107Z \| 0.2 … 1000 m3n/h

质量流量控制器

满量程/压力等级/入口防护等级

PN 10 bar – IP40	PN 10 bar – IP65
F-200DV \| 0.2 … 20 mln/min	F-200DI \| 0.2 …20 mln/min
F-201DV \| 0.42 … 2.1 ln/min	F-201DI \| 0.42 … 2.1 ln/min
F-201EV \| 0.028 … 12 ln/min	F-201EI \| 0.028 … 12 ln/min
F-202DV \| 0.28 … 25 ln/min	F-202DI \| 0.28 … 25 ln/min
F-202EV \| 0.17 … 50 ln/min	F-202EI \| 0.17 … 50 ln/min
F-201DS \| 0.42 … 2.1 ln/min
F-201ES \| 0.028 … 12 ln/min

特征

超低压降

适用腐蚀性气体，适用寿命长

降低污染风险

便于清洁

接液部件为电抛光不锈钢材质

可选配控制阀，形成完整、紧凑的控制回路

可选配工业（IP65)防护外壳，可选ATEX Zone 2 Cat. 3 or FM Class I, Div. 2

应用

大气条件下的环境空气采样

泄漏率测试

低压气体分配系统中的气体气消耗量测量，例如天然气

燃烧炉控制

应用案例

金刚石沉积HFCVD

PN 10 bar – IP40	PN 10 bar – IP65
F-100D \| 0.2 … 20 mln/min	F-100DI \| 0.2 … 20 mln/min
F-101D \| 0.42 … 2.1 ln/min	F-101DI \| 0.42 … 2.1 ln/min
F-101E \| 0.028 … 12 ln/min	F-101EI \| 0.028 … 12 ln/min
F-102D \| 0.28 … 25 ln/min	F-102DI \| 0.28 … 25 ln/min
F-102E \| 0.17 … 50 ln/min	F-102EI \| 0.17 … 50 ln/min
F-103D \| 0.8 … 150 ln/min	F-103DI \| 0.8 … 150 ln/min
F-103E \| 0.9 … 200 ln/min	F-103EI \| 0.9 … 200 ln/min
	F-106Z \| 0.2 … 1000 m3n/h
	F-107Z \| 0.2 … 1000 m3n/h

PN 10 bar – IP40	PN 10 bar – IP65
F-200DV \| 0.2 … 20 mln/min	F-200DI \| 0.2 …20 mln/min
F-201DV \| 0.42 … 2.1 ln/min	F-201DI \| 0.42 … 2.1 ln/min
F-201EV \| 0.028 … 12 ln/min	F-201EI \| 0.028 … 12 ln/min
F-202DV \| 0.28 … 25 ln/min	F-202DI \| 0.28 … 25 ln/min
F-202EV \| 0.17 … 50 ln/min	F-202EI \| 0.17 … 50 ln/min
F-201DS \| 0.42 … 2.1 ln/min
F-201ES \| 0.028 … 12 ln/min

010-61705152